 機械結構采用單邊橋式，綜合了橋移動式機型和龍門式機型兩種結構的優點，減輕了運動件的重量，大幅減小了機器的阿貝誤差；

 工作臺、橫梁和Z軸均采用天然黑色花崗巖精細研磨而成，熱膨脹系數低，溫變小。并使三軸保證相同的熱力學狀態，隨溫度成線性變化，避免了測量空間的形變、扭曲，保證了整機空間結構的線性和穩定性；

 X與Y軸測量系統布置在同一層面上，以使空間溫差的影響達到最??；

 全封閉的三軸設計結構,預應力空氣軸承環抱式設計，軸承系統采用自清潔配以小孔節流技術，保障三軸導軌的高剛性和大承載能力，保障零磨損和流暢的操作；

 有限元分析模塊化設計結構，確保穩定性的同時對于操作和維護極其方便；整機一體式設計，提高了機器的抗震性和機械精度，并確保了機器設備的動態性和長期穩定性。