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全自動晶圓研磨機GDM300可進行晶圓減薄

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更新時間:2021-03-19 11:22:25瀏覽次數:2663

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產品簡介

產地 進口    
·采用全自動系統,從后磨到貼裝的連續過程,可研磨至25um厚度。


·2個磨頭階段,產量幾乎是1個磨頭系統的兩倍。


·內置修邊系統可作為薄型晶圓加工的選擇。

詳細介紹

全自動晶圓研磨機GDM300可進行晶圓減薄
——又稱晶圓拋光/晶圓背拋/Wafer Grinding

 

全自動晶圓研磨機GDM300晶圓減薄特長:
·采用全自動系統,從后磨到貼裝的連續過程,可研磨至25um厚度。


·2個磨頭階段,產量幾乎是1個磨頭系統的兩倍。


·內置修邊系統可作為薄型晶圓加工的選擇。


·雙指標體系,拋光階段和研磨階段*分離,滿足TSV和MEMS工藝所需的清潔。


·超亮度小于Ra1A,可超鏡面。

 


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