? 帶0.1µm/0.4µm 分辨力 / 重復精度的指示精 度可達 (1.1+0.6L/600)µm。

? 高精度測高儀加入了廣泛的測量功能。

? 為了達到的精度，使用高精度反射性線性編碼器和高精度導軌。

? 測量可以通過圖標命令來執行，同時，也支持一鍵操作，保證正面的垂直度為 5µm，直線度為 4µm。

? 使用 TFT 液晶顯示屏，以達到的可視性和可操作性。

? 氣體全浮 / 半浮系統可以進行空氣浮動高度調整。

? 配有基本的統計功能，另外， RS-232C 數據輸出可通過連接計算機上的 SPC 軟件，進行外部測量數據評估 (可選)。

? 精密黑色花崗巖平臺，詳細信息參見 E-49 頁。

? 數據備份 / 恢復，測量工件程序可通過 USB存儲設備來執行 (FAT16/32 兼容格式)。

通用參數 ：

測量范圍 : 0 - 977mm

滑動行程 : 600mm

分辨力 (可切換): 0.0001 / 0.001 / 0.01 / 0.1mm

20oC 時精度 *1: (1.1+0.6L/600)µm

L 為測量長度 (mm)

重復精度 (2σ) *1: 平面 : 0.4µm，孔 : 0.9µm

垂直度 *2 : 5µm (補正后)

直線度 *2 : 4µm (機械直線)

驅動方式 : 手動 / 電動 (5 - 40mm/s, 7 級)

測力 : 1N

平衡方式 : 配重 (自動恒壓裝置)

浮動方式 : 帶有內置空氣壓縮機的全 / 半浮動

顯示 : 5.7 英寸彩色 TFT 液晶顯示

顯示語言 : 日語、英語、德語、法語、意大利語、西

班牙語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷

克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、繁體中文、簡體中文、韓語。

可存儲程序 : 可達 50 個測量程序

可存儲數據 : 可達 60,000 個測量數

電源 : AC 適配器 / 電池 (Ni-MH)

電池操作時間 : 大約 5 小時(空氣浮動和滑塊占儀器工作量的 25%的情況下)

*1 使用標準 ?5 偏心測頭

*2 使用杠桿測頭 (MLH-521) 或 Mu-checker (M-511)