SJ6000 激光干涉儀

激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標準，是迄今*的高精度，高靈敏度的測量儀器，在制造領域應用廣泛。

SJ6000激光干涉儀具有測量精度高，測量范圍大，測量速度快，測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長，角度，直線度，垂直度，平行度，平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性，角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移分析，速度分析，加速度分析，FET分析，如絲桿導軌的動態特性分析，振動分析，驅動系統的響應特性分析等。

SJ6000功能特點 1.精度高 SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度，抗*力強，*穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響 ，保證干涉光路穩定可靠。

2.功能廣（1）可實現線性，角度，直線度，垂直度，平行度，平面度，回轉軸等幾何參量的高精密測量。（2）可檢測數控機床，三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度，重復定位精度等，以及導軌的俯仰角，扭擺角，直線度，垂直度等；（3）可實現對機床回轉軸的測量與校準；（4）可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；（5）支持手動或自動進行環境補償。

3.軟件強  （1）友好的人機界面；（2）豐富的應用功能模塊；（3）向導式的操作流程；（4）簡潔化的記錄管理；（5）支持中文簡體，中文繁體，英文和俄文界面；（6）支持企業專屬模板定制。

4.標準多 內置13份標準，包含GB，ISO，英標，美標，德標，日標等國內外通用標準。可根據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。

技術指標：

系統性能：1.穩頻精度：0.05ppm

2.動態采集頻率：50kHz

3.預熱時間：≤6分鐘

4.工作溫度范圍：（0-40）℃

5.環境溫度范圍：（0-40）℃，環境濕度：（0~95）%RH

6.存儲溫度范圍：-20℃~70℃

環境補償示值誤差：1.空氣溫度傳感器:±1.0℃(0-40) ℃，分辨率0.01 ℃

2.材料溫度傳感器：±1.0℃(0-55) ℃，分辨率0.01 ℃

3.空氣溫度傳感器：±5%RH（0-95）%RH

4.大氣壓力傳感器：±0.1kPa(65-115)kPa

線性測量：1.測量距離：（0-80）m(無需遠距離線性附件)

2.測量精度：0.5ppm（0-40）℃

3.測量分辨率：1nm

4.測量大速度;4m/s

角度測量：1.軸向量程：（0-15）m

2.測量范圍：±10°

3.測量精度：±（0.02%R+0.1+0.024M）″(R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

4.測量分辨率為：0.1″

平面度測量：1. 軸向量程：（0-15）m

2. 測量范圍：±1.5mm

3.測量精度：±（0.02%R+0.02M²）µm (R為顯示值，單位：µm；M為測量距離，單位：m)

4.基板尺寸：180mm可調，360mm可調

5.測量分辨力：0.1µm

直線度測量：

垂直度測量：

回轉軸測量：

1. 型號：WR50自動精密轉臺      5.轉速：10rpm
2. 角度測量范圍;（0-360）°     6.重量：1.9kg
3. 測量精度;±1″               7.供電方式;可充電鋰電池
4. 分辨力：0.1″                8.通電方式：無線藍牙傳輸