3D電鏡掃描儀

TESCAN的產品系列包括：

• 鎢燈絲掃描電鏡
• 六硼化鑭（LaB6）掃描電鏡
• 場發射掃描電鏡
• 雙束（離子/電子）掃描電鏡
• 雙束（Xe等離子/電子）掃描電鏡
• 拉曼光譜—掃描電鏡聯用系統（RISE）
• 飛行時間二次離子質譜—雙束電鏡聯用系統

（TOF SIMS-SEM/FIB）






TESCAN電鏡掃描儀產品特點

  所有的TESCAN電鏡都配備了的現代光學設計系統

• 的大視野光路設計（Wide Field Optics^TM）采用的中間鏡技術（IML），
• 能夠同時提供各種工作和顯示模式，如高分辨率模式，增強景深模式，視野模
• 式，大視野模式和電子通道花樣模式
• 實時電子束追蹤技術（In-Flight Beam Tracing^TM）最初由TESCAN開發，這種
• 方法代表了當今電子光學系統的準的控制方式。通過對所有參數進行非常
• 精確的計算，實現對電子束束流和束斑尺寸在整個能量范圍內的直接控制和連續調節。
• TESCAN*的三維電子束實時立體成像技術，開辟了微納米世界的3D體驗和導航。
• 三維電子束技術使掃描軸線傾斜圍繞視場的中心，來實現實時立體成像。用TESCAN
• SEM觀察和獲取三維圖像，再加上三維重建軟件，為三維表面分析提供了一個全新的工具。
• 高質量的快速成像。
• 全自動化的電子光學系統的設置和校準。
• 電子束曝光。

•                                          

•  分析能力

TESCAN的產品具有高質量、高可靠性，同時具備強大的分析能力：

• 主流的分辨率
• 性能的YAG閃爍體探測器
• 更多的探測器及配件的選擇
• 樣品室快速抽真空
• 提供針對不導電樣品的可變真空模式
• 提供能夠容納超大樣品的XM樣品室和GM樣品室
• LM,XM和GM樣品室都配備五軸全自動優中心樣品臺和最
• 佳的幾何配置
• 更多的接口能夠安裝能譜、波譜和EBSD以及其他更多的探
• 測器
• 利用三維測量軟件可在重構表面后進行三維測量
• 多種減振系統可適合不同的環境

  自動化程度

自動完成電子槍的燈絲加熱和校準。自動化程序可以顯著減少操作者的調整時間，從而實現導航式自動操作和自動

分析。SharkSEM遠程控制接口可以訪問電鏡的大多數功能，包括電鏡的真空控制，電子光學控制，樣品臺控制，

圖像采集等。集成的Python腳本庫提供了所有這些功能。

友好的軟件和工具

• 操作軟件有多種語言可供選擇。
• 即使沒有經驗的用戶也可以非常容易的學會操作；
• 設定了四個級別的用戶權限，包括最快速簡單的
• EasySEM^TM觸摸操作方式
• 圖像管理和報告生成器
• 內置自我診斷系統
• 網絡操作和遠程訪問/診斷
• 模塊化的軟件構架方式，可隨時添加擴展功能。
• 標準化的插件，如目標區域測定軟件，測量軟件，
• 圖像處理軟件，圖像分析、定位等。
• 多個可選的模塊或專用的應用程序，用來自動檢
• 測并進行程序優化，如顆粒分析模塊或三維重構
• 模塊等。