6月29日-7月1日，SEMICON China 2023上海國際半導(dǎo)體展在上海新國際博覽中心隆重舉行。SEMICON China是全球大規(guī)模的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)盛會之一，展會匯聚全球1100多家半導(dǎo)體設(shè)備材料廠商，全面展示產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品、探索行業(yè)新機遇。
 

　　作為綠色智能高效制造解決方案及關(guān)鍵部件提供商，匯專科技攜超聲綠色機床及超聲綠色工具系列產(chǎn)品在E5752展位閃耀登場！
 

　　實力產(chǎn)品
 

　　為加工技術(shù)升級提供新引擎
 

　　本次展會，匯專科技展示了超聲高效精密雕銑中心及超聲綠色工具系列(包括超聲加工系統(tǒng)、超聲刀柄、整體PCD刀具)多款產(chǎn)品。
 

　　超聲綠色機床及超聲綠色工具系列產(chǎn)品由匯專自主研發(fā)，融入了超聲技術(shù)與綠色技術(shù)，成功突破硬脆性材料、難切削金屬材料和復(fù)合材料的加工難題。對半導(dǎo)體行業(yè)單晶硅、石英玻璃、碳化硅、鋁基碳化硅、氧化鋁、石墨、氮化硅等難加工材料具有顯著的加工優(yōu)勢。兩大系列實力產(chǎn)品在展會現(xiàn)場受到高度關(guān)注，吸引了眾多國內(nèi)外客戶前來咨詢和洽談。
 

　　SEMI相關(guān)報告指出，全球半導(dǎo)體設(shè)備市場經(jīng)歷了連續(xù)三年增長后，預(yù)計今年市場規(guī)模將有所下滑，預(yù)計在2024年復(fù)蘇。基于電子創(chuàng)新強勁需求的推動，SEMI預(yù)測到2030年，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模將達到1萬億元。產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景長期可觀。當(dāng)前，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍缺乏核心技術(shù)的自主可控。匯專超聲綠色機床及超聲綠色工具在加工難加工材料方面的優(yōu)勢，將為產(chǎn)業(yè)加工技術(shù)升級提供新的引擎，助力中國半導(dǎo)體廠商拓展全球市場。
 

　　專業(yè)方案
 

　　致力為客戶創(chuàng)造最大化效益

 

　　匯專超聲綠色機床結(jié)合自主研發(fā)的超聲加工系統(tǒng)、超聲刀柄、整體PCD刀具等核心技術(shù)產(chǎn)品形成整體加工解決方案，針對半導(dǎo)體零部件加工可有效延長刀具壽命、提升工件表面質(zhì)量、提高加工效率。幫助客戶在生產(chǎn)加工過程中提質(zhì)增效，實現(xiàn)最大化效益，目前已得到半導(dǎo)體行業(yè)客戶的廣泛認可。
 

　　01 單晶硅噴淋盤鉆孔加工
 

　　單晶硅噴淋盤是應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片蝕刻環(huán)節(jié)的關(guān)鍵部件，單晶硅作為脆性材料，加工過程容易產(chǎn)生斷裂。同時該工件孔深徑比高達51:1，加工難度非常大。客戶原加工方案，無法加工出深徑比51:1的超深微孔，孔壁粗糙度和真圓度均達不到加工要求。使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600，搭配超聲加工系統(tǒng)及整體PCD鉆頭后，成功加工出了合格的單晶硅噴淋盤工件，加工效果也顯著優(yōu)化。
 

       02 鋁基碳化硅螺紋孔加工

 

　　加工鋁基碳化硅半導(dǎo)體部件，使用匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400搭配超聲加工系統(tǒng)及整體PCD螺紋銑刀，刀具壽命超54個孔，提升300倍以上；效率也顯著提升，加工單孔僅360秒。
 

　　為期三天的展會，已圓滿落下帷幕。未來，匯專科技將繼續(xù)聚焦半導(dǎo)體行業(yè)零件加工方案創(chuàng)新，與業(yè)界共同推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。