近日，匯專超聲綠色機床持續(xù)批量出貨，發(fā)往華南地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)先進材料提供商客戶。
 

　　客戶作為先進材料提供商，其需求在于針對不同材料半導(dǎo)體器件進行鉆孔和銑削加工，并實現(xiàn)高精度、高效率的加工效果。超聲高效精密雕銑中心憑借高精、高速和一機多用的優(yōu)勢，得到客戶的高度認可。
 

　　該加工中心X/Y/Z軸定位精度為6μm、重復(fù)定位精度達4μm；主軸最高轉(zhuǎn)速40,000rpm；配置匯專自主研發(fā)的超聲加工系統(tǒng)；可實現(xiàn)一機多用，滿足硬脆材料(陶瓷、藍寶石、玻璃、單晶硅、碳化硅)、復(fù)合材料工件和小零件的高光、微小孔超聲加工需求，同時滿足鋁合金、不銹鋼等金屬材料的高速、高精密加工。能夠幫助客戶提升加工效率、降低設(shè)備成本并帶來更好的加工效果。
 

超聲高效精密雕銑中心ULM-600
 

　　主要特點：
 

　　一機多用，可滿足硬脆材料、復(fù)合材料、高光加工、小零件加工、微小孔加工的加工需求
 

　　可配置不同型號超聲主軸(HSK-E32/HSK-E40/HSK-A63)，最高轉(zhuǎn)速達40,000rpm
 

　　可配置超臨界CO2低溫冷卻系統(tǒng)、微量潤滑(MQL)內(nèi)冷系統(tǒng)實現(xiàn)清潔加工
 

　　可選配雙刀庫，滿足不同加工需求
 

　　可搭配五軸轉(zhuǎn)臺，可實現(xiàn)五軸定位加工、五軸聯(lián)動加工，滿足工序集約化和復(fù)雜曲面零件的加工需求
 

　　標配華中918D系統(tǒng)，可選配西門子828D系統(tǒng)
 

　　創(chuàng)新技術(shù)加持，突破硬脆材料加工難題

 

　　匯專超聲綠色系列機床是全球?qū)⒊暭夹g(shù)和綠色技術(shù)兩大創(chuàng)新技術(shù)有機融合，成功突破硬脆性材料、難切削金屬材料和復(fù)合材料加工難題的高端數(shù)控機床。
 

　　就半導(dǎo)體行業(yè)加工而言，半導(dǎo)體器件的材料通常為單晶硅、石英玻璃、碳化硅、陶瓷、石墨、鋁合金等硬脆性材料和難切削金屬材料，主要的加工工藝以微小孔加工、表面銑削加工、型腔銑削加工為主，同時對加工精度及表面質(zhì)量要求很高，普通機床難以滿足加工要求。經(jīng)過大量的實驗測試及市場驗證，匯專超聲綠色系列機床針對上述硬脆性材料的微小孔及銑削加工，優(yōu)勢顯著，在半導(dǎo)體行業(yè)客戶中廣泛應(yīng)用。
 

　　其中，機床配置的超聲輔助加工系統(tǒng)，在加工過程中，通過將高頻電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C械振動，在刀具旋轉(zhuǎn)加工的同時施加每秒16-60kHz的振動，使刀具與工件產(chǎn)生周期性分離，提高加工穩(wěn)定性的同時促進排屑，有效提升加工效率、改善工件表面質(zhì)量。
 

　　綠色技術(shù)(微量潤滑MQL技術(shù)/超臨界CO2低溫冷卻技術(shù))的應(yīng)用則取代傳統(tǒng)切削液，通過微米級油霧或-78°低溫技術(shù)，對刀具與加工部位進行精準冷卻潤滑，有效降低切削熱、減少刀具磨損、延長刀具壽命。
 

成功案例

 

　　01  單晶硅噴淋盤微孔加工
 

零部件名稱:噴淋盤
 

　　加工材料:單晶硅
 

　　加工特征:D0.48x18mm

 

　　客戶加工痛點:
 

　　× 傳統(tǒng)方案無法加工深孔
 

　　匯專解決方案:
 

　　+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
 

　　+ 匯專超聲加工系統(tǒng)
 

　　+ 匯專整體PCD微鉆
 

　　匯專加工優(yōu)勢:
 

　　+ 孔入口崩缺<0.05mm
 

　　+ 孔位置度<0.01mm
 

　　+ 實現(xiàn)D0.48x18mm微孔加工(深徑比37.5:1)
 

　　+ 鉆頭壽命可穩(wěn)定達1,000+個孔
 

　　02  單晶硅噴淋盤51:1超深微孔加工
 

工件材料:單晶硅
 

　　工件尺寸:50x60x23mm
 

　　加工特征:D0.45x23mm盲孔均布精加工

 

　　客戶加工痛點:
 

　　× 客戶無成熟加工方案加工此種超深微孔
 

　　× 孔壁粗糙度僅Ra6.54μm
 

　　× 孔真圓度僅0.025mm
 

　　匯專解決方案:
 

　　+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
 

　　+ 匯專超聲加工系統(tǒng)
 

　　+ 匯專整體PCD鉆頭
 

　　匯專加工優(yōu)勢:
 

　　+ PCD鉆頭可連續(xù)加工1000+個D0.45x23mm的超深微孔(深徑比 51:1)
 

　　+ 盲孔加工，入口處目視無崩缺
 

　　+ 超聲加工孔壁粗糙度Ra 0.088μm，比傳統(tǒng)加工粗糙度降低99%
 

　　+ 孔真圓度達0.003mm
 

　　03  石英玻璃多面棱鏡加工
 

材料:石英玻璃
 

　　尺寸:16x16x10mm
 

　　客戶原方案加工痛點:
 

　　× 粗糙度差，拋光余量大
 

　　× 尺寸精度要求高，依賴進口設(shè)備
 

　　匯專解決方案:
 

　　+ 匯專超聲高效五軸聯(lián)動加工中心ULV200-5AXIS
 

　　+ 匯專超聲加工系統(tǒng)
 

　　匯專加工優(yōu)勢:
 

　　+ 超聲輔助加工降低切削力，有效提升加工效率
 

　　+ 加工表面可達鏡面級，粗糙度均勻，Sa<70nm，降低表面拋光后尺寸的控制難度
 

　　+ 解決卡脖子問題，實現(xiàn)國產(chǎn)化
 

　　04  氧化鋁噴淋盤鉆孔加工
 

零部件名稱:氧化鋁噴淋盤
 

　　材料硬度: HV1,400
 

　　加工特征:D0.5x3.2mm/D1x5.8mm
 

　　深徑比6:1
 

　　加工孔數(shù) >750 (個)

 

　　客戶加工難點:
 

　　× 刀具壽命低
 

　　匯專解決方案:
 

　　+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400
 

　　+ 匯專超聲加工系統(tǒng)&熱縮刀柄
 

　　+ 匯專整體PCD鉆頭
 

　　匯專加工優(yōu)勢:
 

　　+ 刀具壽命提升34%以上
 

持續(xù)深耕，推動半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

 

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代化信息技術(shù)的基石，對推動全球經(jīng)濟發(fā)展和保障國家安全具有重要意義。各國政府也都在積極投入資金、制定政策以促進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。未來，隨著科技水平的提高以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴大，半導(dǎo)體器件的機械加工要求也將越來越高。匯專將不斷加強技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā)投入，在超聲綠色數(shù)控機床領(lǐng)域深耕細作，以優(yōu)秀的超聲綠色技術(shù)引導(dǎo)半導(dǎo)體精密零件加工技術(shù)升級，推動半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。