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高精度、高效率！匯專超聲高效機(jī)床在半導(dǎo)體行業(yè)鉆孔的創(chuàng)新應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè)是21世紀(jì)的高附加值、高科技產(chǎn)業(yè)。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)一步提升及其應(yīng)用越來越普遍，半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)自主化成為大國增強(qiáng)國家綜合實(shí)力的新目標(biāo)。
作為制造產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體零件加工對工件的表面質(zhì)量及精度的要求非常高，精度要求可達(dá)到納米級(jí)以上。其材料一般以硬脆性材料為主，加工時(shí)，普遍存在工件易崩缺、刀具壽命低、加工效率低等加工難點(diǎn)。
為了解決這些難題，匯專融合自主研發(fā)的超聲加工技術(shù)、整體PCD刀具及超聲精密刀柄，為半導(dǎo)體行業(yè)客戶量身定制專業(yè)的整體加工解決方案，該方案不僅在微小孔、深孔加工方面有著技術(shù)突破，同時(shí)能有效幫助客戶縮短加工時(shí)間、改善工件質(zhì)量、提高產(chǎn)品良率，實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定加工。
下面一起通過具體加工案例分享，來看看匯專半導(dǎo)體加工整體解決方案的優(yōu)勢吧！
加工
案例
1.單晶硅噴淋盤微孔加工
關(guān)鍵詞：微深孔加工
噴淋盤
加工材料：單晶硅
加工特征：D0.48x18mm
加工難點(diǎn)：
傳統(tǒng)加工方式無法實(shí)現(xiàn)此種材料的深孔加工要求
解決方案：
匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD微鉆
超聲高效精密雕銑中心ULM-600
匯專整體PCD微鉆
加工優(yōu)勢：
孔入口崩缺<0.03mm
孔位置度<0.01mm
實(shí)現(xiàn)D0.48x18mm微孔加工，深徑比37.5:1
鉆頭壽命可穩(wěn)定達(dá)1,000+個(gè)孔
2.石英玻璃噴淋盤微孔加工
關(guān)鍵詞：高效率、高質(zhì)量盲孔加工
石英玻璃 HV700
工件尺寸：D280mm
加工特征：D0.5x5.0mm盲孔均布精加工
加工難點(diǎn):
加工效率低
材料容易崩邊
解決方案:
匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD鉆頭
超聲高效精密雕銑中心ULM-600
匯專整體PCD鉆頭
加工效果：
PCD鉆頭可連續(xù)加工1,200個(gè)D0.5x5mm的孔(深徑比10:1)
單孔加工時(shí)間由傳統(tǒng)的270秒降到75秒，加工時(shí)間縮短72%
孔壁光滑，孔口崩邊量由0.4mm下降到0.13mm，降低67.5%
崩邊對比：
傳統(tǒng)加工 匯專超聲加工
3.碳化硅噴淋盤階梯孔加工
關(guān)鍵詞：高硬度脆性材料孔加工
噴淋盤
加工材料：碳化硅(HV1,800)
加工特征：D0.5x6.5mm/D1x6.5mm
加工難點(diǎn)：
高硬度材料且容易崩缺
孔徑小，深徑比大
高度依賴國外加工技術(shù)
解決方案：
匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-500
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD鉆頭
超聲高效精密雕銑中心ULM-500
匯專整體PCD鉆頭
加工優(yōu)勢：
滿足超過100個(gè)D0.5X6.5mm微孔(深徑比13:1)的連續(xù)穩(wěn)定加工
孔壁光滑、孔口崩缺<0.02mm
4.單晶硅噴淋盤孔加工
關(guān)鍵詞：單支鉆頭連續(xù)6,000+個(gè)孔加工
噴淋盤
加工材料:單晶硅
加工難點(diǎn):
易崩邊
精度低
刀具壽命短
機(jī)床的防護(hù)等級(jí)低，絲桿、導(dǎo)軌易磨損
解決方案:
匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-600
匯專超聲加工系統(tǒng)
匯專整體PCD鉆頭
超聲高效精密雕銑中心ULM-600
匯專整體PCD鉆頭
加工效果：
孔入口無崩邊
真圓度、位置度有明顯提升，可連續(xù)穩(wěn)定加工D6.5X15mm的孔(深徑比23:1)
刀具壽命超過6,000+個(gè)孔
加工后，孔入口無崩邊
5.氧化鋁噴淋盤鉆孔加工
關(guān)鍵詞：高硬度脆性材料孔加工
氧化鋁噴淋盤
材料硬度: HV1,400
加工特征：D0.5x3.2mm/D1x5.8mm
加工難點(diǎn):
刀具壽命短
解決方案:
匯專超聲高效精密雕銑中心ULM-400
匯專超聲熱縮刀柄
匯專整體PCD鉆頭
超聲高效精密雕銑中心ULM-400
匯專整體PCD鉆頭
加工優(yōu)勢：
實(shí)現(xiàn)D0.5x3.2mm/D1x5.8mm孔加工(孔深徑比6:1)，加工孔數(shù)>750個(gè)6
刀具壽命提升34%以上
