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規格 mm | 測量面對基面的垂直 | 測量面平面度或直線度 | 基準平面度或直線度 | ||||||
精度等級um | |||||||||
1 | 2 | 3 | 1 | 2 | 3 | 1 | 2 | 3 | |
200×200 | 8 | 16 | 30 | 4 | 8 | 16 | 6 | 12 | 24 |
300×200 | 10 | 20 | 40 | 5 | 10 | 20 | 8 | 16 | 30 |
300×300 | 10 | 20 | 40 | 5 | 10 | 20 | 8 | 16 | 30 |
400×300 | 12 | 24 | 45 | 6 | 12 | 24 | 10 | 20 | 40 |
400×400 | 12 | 24 | 45 | 6 | 12 | 24 | 10 | 20 | 40 |
500×400 | 14 | 28 | 50 | 7 | 14 | 28 | 12 | 24 | 48 |
500×500 | 14 | 28 | 50 | 7 | 14 | 28 | 12 | 24 | 48 |
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