詳細(xì)介紹
2、非接觸式加工,無(wú)機(jī)械應(yīng)力,提高芯片質(zhì)量
3、CCD快速定位功能,實(shí)時(shí)同軸監(jiān)視或旁軸監(jiān)視功能
4、高精度二維直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),高精度DD旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
5、大理石基臺(tái),穩(wěn)定可靠,熱變形小
6、精密數(shù)控系統(tǒng)
7、全中文操作界面,操作直觀、簡(jiǎn)易,界面良好
8、劃線(xiàn)工藝專(zhuān)家系統(tǒng)
9、高可靠性和穩(wěn)定性
10、激光器:IR/UV(選配)