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小坂KOSAKA微細形狀測定機(臺階儀）

產品描述：

 

與AFM 的差異主要是觸針形狀不同，ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制，故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK，差異是有些細微表面ET掉不進去，故nm以下的表面粗度則以AFM為主。

主要特性

一. 再現性與線性度

再現性• • • 可達0.1nm

線性度• • •針對不同厚薄樣品，使用同一感度

二. 高解析度

高解析度• • •特別是針對thin film更佳

縱軸高解析度0.1nm

橫軸高解析度0.01um

可測定微細形狀

三. 低測定力

低測定力• • •效果可比擬非接觸

測定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意設置

可測定軟質材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等

四. 超高真直度

超高真直度• • •可測定試片之長距離測定

追溯性：通過認證工廠，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產品出廠皆檢附出廠校正報告

高機械真直度精度保證：

局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可測定試片之長距離測定,例如:平面度、波紋度、翹曲度、內應力等等

真直度保證• • •確保測定圖形不受影響

五. 即時監控量測位置

即時監控量測位置• • •可易辨認微小樣品

配備標準CCD：即時監控量測位置

可選購TOPVIEWCCD，執行高精度定位量測

六. 形狀及粗度解析

形狀及粗度解析

粗度規范對應：可對應各種新舊標準規范，測定參數多達60種

可測定段差及PITCH量測

七．可擴充成三次元設備

形狀及粗度解析

粗度規范對應：可對應各種新舊標準規范，測定參數多達60種

可測定段差及PITCH量測

主要客戶

高校及研究單位:機械、材料、化學、

光電、校正中心。

民間企業:光電(TFT、CF、STN、TP、

LED、OLED) and 半導體。

KOSAK ET 200主要規格：

技術參數：小坂KOSAKA微細形狀測定機(臺階儀）

 

一、測定工件：

1. 大工件尺寸：φ160mm

2. 大工件厚度：50mm

3. 大工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測定範圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測定力：min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅動方式：直動式

6. 再現性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準軸)：

1. 移動量(大測長)：100mm

2. 移動的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z軸：

1. 移動量：50mm

2. 移動速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動停止機能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件臺：

1. 工件臺尺寸：φ160mm

2. 機械手動傾斜： ± 1mm/150mm

六、工件觀察：

max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)

七、床臺：

材質為花崗巖石

八、防振臺(選購)：

落地型或桌上型

九、電源：

AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震臺)

小坂KOSAKA微細形狀測定機(臺階儀）