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全自動激光退火設備

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號DSI-S-LA9200

品       牌

廠商性質生產商

所  在  地

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更新時間：2022-01-15 15:05:55瀏覽次數：1287次

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主要特點：設備特點：1、整機模塊化設計與集成



主要特點：

設備特點：

1、整機模塊化設計與集成，提供系統解決方案

2、退火面均勻性高，電學特性優秀

3、兼容4、6英寸薄片晶圓

4、激光分布均勻、能量穩定，配置監控與補償系統

5、嚴格控制腔體含氧量和非退火面溫度

6、高精度全自動EFEM傳輸模組

7、符合SEMI標準，支持SECS-GEM通信



主要參數:


主要參數加工尺寸4inch、6inch
加工速度1000mm/s
加工精度±1μm
平臺參數行程300mm×300mm
重復定位精度±0.001mm
激光器參數紫外
稼動率98%以上
重大故障間隙時間＞1000H
良率≥99.5%



加工效果：


   



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