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wyko nt9100光學輪廓儀-參數、特點、功能、應用 -veeco華東總代理
nt9100光學輪廓儀是一款使用便利、性能,性價比高的非接觸無損傷三形貌維測量儀器。wyko的第九代系統采用*的雙led照明光源技術,能夠更好的檢測超光滑表面及非常粗糙的表面;它的測量范圍可達亞納米級粗糙度到毫米級的臺階高度。作為第九代白光干涉儀的桌面機臺,nt 9100同樣具有大機臺才有的優點:簡單易用的操作方式、快速數據獲取能力、強大的軟件功能及埃級的重現性等。同時,可選配的x-y自動平臺,使nt9100具有程序化處理樣品的功能。
wyko nt 9100光學輪廓儀是一款便捷的、精確的、實用的非接觸三維形貌測量系統。作為第九代系統,它采用已申請的雙光源照明技術,同時實現了對超光滑表面和粗糙表面進行非接觸表征,應用范圍涵蓋了亞納米量級粗糙度測量到毫米尺度臺階高度測量。作為行業內的及重現性的桌面式機臺,nt9100可滿足研發、磨損分析、失效分析及工藝控制等領域的需求。
作為nt 9000光學輪廓儀系列的臺式型號,nt9100具有許多和大型機臺一樣的優點,包括:測量設置簡單易學,高速數據采集能力,強大的數據分析能力以及0.1納米量級的測試重復精度。可選配的x-y自動樣品臺使nt9100實現程序化,這是在wyko桌面式輪廓儀系列的*應用。
nt9100的量測性能與其他nt9000系列產品相當,但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來的發展提供了基礎。系統包含了完整版的vision分析軟件,該軟件是行業內功能zui全的分析軟件,可實現二維和三維的數據分析及可視化功能。vision軟件為用戶提供了200余種分析工具,包括自動測序功能、數據記錄和實時反饋及統計控制過程的合格/不合格標準。用戶采用可選的matlab® 軟件包還可以定制專門的數據分析用戶界面。
創新點
1.采用高壽命綠光及白光leds
2.垂直測量范圍達0.1nm至10mm
3.垂直掃描速度zui快可達24微米/秒
4.光學分辨率zui小可達0.49微米
5.可選配x-y自動樣品臺
技術參數
1、縱向掃描范圍:0.1nm~1mm (標配)
2、zui大掃描速度:24um/s
3、樣品臺尺寸:100mm