機床設計特點
● PA開放式操作系統；
● 天然花崗巖基座，保證機床*穩定性；
● 超精密高剛性空氣靜壓主軸；
● 超精密液體靜壓導軌，具有較好的剛性和阻尼性；
● X/Z軸均采用直線電機驅動，全閉環控制；
● 氣浮支承隔振系統zui大的減少外界振動干擾；

主要技術指標：
（1）Z軸
zui大行程： 210mm
直線度： 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重復定位精度： 0.3μm
分辨率： 10nm
zui大進給速度： 20mm/s
（2）X軸
zui大行程： 210mm
直線度： 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重復定位精度： 0.3μm
分辨率： 10nm
zui大進給速度： 20mm/s
（3）C軸
高精度氣浮軸承回轉精度 0.1μm
轉速 0-3000rpm
轉角定位精度 30″
轉角重復性定位精度 10″