機床特點
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加工元件表面粗糙度可達納米級，口徑可達到200mm，加工工件表面粗糙度Ra<3nm，面形精度PV值<0.2μm。可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件。可加工銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。在三軸聯動模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉對稱元件和自由曲面，配以特殊刀具可以實現微結構元件的加工，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。機床配置
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●超高精度空氣靜壓主軸 自主技術●超精密液體靜壓導軌 自主技術
● 超精密控制系統 自主技術
● 超高分辨率光柵尺 31.25pm
● 全封閉防護設計 外觀
● 自平衡可調隔振系統 實用
技術參數
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Z軸（沿主軸）1.行程： 200mm
2.直線度： 0.1μm/100mm
3.分辨率： 1nm
4.進給速度： 20mm/s
X軸（垂直于主軸）
1.行程： 200mm
2.直線度： 0.1μm/100mm
3.分辨率： 1nm
4.進給速度： 20mm/s
主軸（工件軸）
1.徑跳和端跳 ： ＜0.05μm
2.主軸轉速： 0-6000rpm
使用環境要求
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1.要求隔震地基，設備在溫度:20±2℃，一天內溫度梯度小于2℃。濕度：＜50%的環境下使用。2.空氣過濾精度：0.5um。除油、除水。
3.空氣壓力：≥0.6MPa。
4.空氣流量: ≥0.3m³/min。
5.電源：380V，設備功率：≤5KW。
