超精密氣靜壓平面數控磨床
“ZCS-QPM250超精密氣靜壓三軸氣浮數控平面磨床” ，采用氣靜壓砂輪電主軸，X/Y二軸高精密氣浮導軌。臺達PLC、臺達伺服電機和驅動器組成伺服驅動系統。使整機達到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。具體參數如下：
一、技術特點：
該磨床采用氣靜壓砂輪電主軸、X/Y二軸高精密氣浮導軌，Z軸（砂輪軸）采用高精度光柵尺數顯系統，三級精密過濾器組成超精密氣靜壓平面磨床的加工軸系。使整機達到平面度0.5um（100mm×100mm），表面粗糙度Ra0.1um的加工精度。
工作臺的前后運動機構采用精密滾珠絲杠加臺達PLC和伺服電機驅動控制系統，具備緩沖換向功能。磨頭上下采用手動進給。具有快進、慢進、微進給，自動、手動功能，操作方便、靈活可靠、無振動、精度穩定、熱穩定性好、噪聲低、維護保養方便等特點。
X/Y二軸采用高精密氣靜壓(氣浮)導軌，具有高承載、高精度，高平穩性，無摩擦，長壽命等性能。
砂輪主軸采用臺達系列變頻控制器實現無級調速。
該磨床在氣路、水路進口處加有壓力傳感器，具有過流、過載、氣壓低下限、以及冷卻水斷流等故障報警保護功能。
二、超精密氣靜壓平面數控磨床整機主要技術參數表
| ZCS-QPM250超精密氣靜壓平面數控磨床 | ||||
| 項目 | 單位 | 尺寸 | ||
| 工作臺 | 臺面行程（寬*長） | mm | 250*500 | |
| 磨削尺寸（寬*長*高） | mm | 260*580*380 | ||
| 工作臺（X軸）縱向行程（伺服電機驅動） | mm | 550 | ||
| 工作臺（Y軸）橫向行程（伺服電機驅動） | mm | 250 | ||
| 工作臺(X軸）縱向移動速度（無級調速） | m/min | 3-20 | ||
| 手輪每轉進給量 | 最小垂直進給 | mm | 0.001 | |
| 最小橫向進給 | mm | 0.001 | ||
| 工作臺T型槽（槽數*槽寬） | mm | 1*14 | ||
| 工作臺承載量 | kg | 280 | ||
| 磨頭 | 砂輪軸中心線至工作臺面距離（上下電動快升快降） | mm | 470 | |
| 磨頭垂直進給最小量 | mm | 0.001 | ||
| 128萬線臺達高精度伺服電機驅動系統最小分辨率 | mm | 0.0001 | ||
| 砂輪軸轉速變頻調速 | r/min | 0-4000 | ||
| 砂輪尺寸（外徑*寬*內徑） | mm | ∮200*20*∮31.75 | ||
| 砂輪電主軸徑向跳動 | mm | 0.0001 | ||
| 砂輪電主軸動態全速度范圍內振動量 | mm | ≤0.3mm/s | ||
| 工作精度 | 加工表面對基面的平行度 | um | 100:0.5 | |
| 表面精糙度 | um | Ra0.1 | ||
| 導軌 | X高精密氣靜壓（氣浮）導軌承載力 | kg | 2000 | |
| Y高精密氣靜壓（氣浮）導軌承載力 | kg | 1000 | ||
| 機床重量 | 毛重 | kg | 1100 | |
| 凈重 | kg | 1000 | ||
| 外形尺寸（長*寬*高） | mm | 1700*1300*1800 | ||
| 機床總功率 | kw | 5 | ||
