FANUC驅(qū)動(dòng)器
FANUC驅(qū)動(dòng)器
福建石屹科技有限公司
精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在精密加工、集成電路制造、微裝配、生物醫(yī)學(xué)工程以及航空航天等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。近年來,這些領(lǐng)域的高速發(fā)展迫切需求納米級(jí)甚至亞納米級(jí)精度的精密驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)作為技術(shù)支持。 本文根據(jù)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的基本理論和步進(jìn)式直線精密驅(qū)動(dòng)的工作原理,設(shè)計(jì)了以壓電疊堆作為驅(qū)動(dòng)源的壓電步進(jìn)直線精密驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了普通精密驅(qū)動(dòng)器難以實(shí)現(xiàn)的高精度、快速響應(yīng)、體積小和出力大等特性,主要內(nèi)容如下: 1.闡述了壓電陶瓷的基本理論,測(cè)試了壓電疊堆的輸出特性。 2.對(duì)柔性鉸鏈作了詳細(xì)的理論分析,有限元分析和實(shí)驗(yàn)測(cè)試,闡明了其設(shè)計(jì)要素與輸出特性的關(guān)系。 3.總結(jié)了壓電精密驅(qū)動(dòng)器的幾種結(jié)構(gòu)形式,設(shè)計(jì)了采用外箝位外驅(qū)動(dòng)方式的壓電步進(jìn)式直線精密驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu),并著重分析了箝位方式,設(shè)計(jì)了垂直箝位式結(jié)構(gòu),使箝位特性更好。 4.對(duì)壓電步進(jìn)式直線精密驅(qū)動(dòng)器樣機(jī)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,測(cè)試并分析了該精密驅(qū)動(dòng)器的箝位特性、步長、分辨率(小步長精度)、驅(qū)動(dòng)速度、驅(qū)動(dòng)力等基本性能參數(shù)。實(shí)驗(yàn)證明,該精密驅(qū)動(dòng)器具有良好的性能,為其進(jìn)一步的研究提供了依
精密驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在精密加工、集成電路制造、微裝配、生物醫(yī)學(xué)工程以及航空航天等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。近年來,這些領(lǐng)域的高速發(fā)展迫切需求納米級(jí)甚至亞納米級(jí)精度的精密驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)作為技術(shù)支持。 本文根據(jù)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的基本理論和步進(jìn)式直線精密驅(qū)動(dòng)的工作原理,設(shè)計(jì)了以壓電疊堆作為驅(qū)動(dòng)源的壓電步進(jìn)直線精密驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了普通精密驅(qū)動(dòng)器難以實(shí)現(xiàn)的高精度、快速響應(yīng)、體積小和出力大等特性,主要內(nèi)容如下: 1.闡述了壓電陶瓷的基本理論,測(cè)試了壓電疊堆的輸出特性。 2.對(duì)柔性鉸鏈作了詳細(xì)的理論分析,有限元分析和實(shí)驗(yàn)測(cè)試,闡明了其設(shè)計(jì)要素與輸出特性的關(guān)系。 3.總結(jié)了壓電精密驅(qū)動(dòng)器的幾種結(jié)構(gòu)形式,設(shè)計(jì)了采用外箝位外驅(qū)動(dòng)方式的壓電步進(jìn)式直線精密驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu),并著重分析了箝位方式,設(shè)計(jì)了垂直箝位式結(jié)構(gòu),使箝位特性更好。 4.對(duì)壓電步進(jìn)式直線精密驅(qū)動(dòng)器樣機(jī)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,測(cè)試并分析了該精密驅(qū)動(dòng)器的箝位特性、步長、分辨率(小步長精度)、驅(qū)動(dòng)速度、驅(qū)動(dòng)力等基本性能參數(shù)。實(shí)驗(yàn)證明,該精密驅(qū)動(dòng)器具有良好的性能,為其進(jìn)一步的研究提供了依
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