激光干涉儀的工作原理

 

　　激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。

 

　　工作原理：

 

　　激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

 

　　當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現平衡狀態，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時穩定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。

 

　　激光器的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量及壽命等指標參數，都關系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀基本的參數，其頻率(波長)的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。

 

　　應用：

 

　　1、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。

 

　　2、雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

 

　　3、數控機床動態性能檢測利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。

 

　　4、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。