SJ6000激光干涉儀如何測量平行度

 

　　激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。

 

　　SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。

 

　　平行度測量原理

 

　　平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

 

　　平行度測量配置

 

　　平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態測量軟件等組件構成。Z軸的平行度測量需增添可調轉向鏡。

 

　　平行度測量應用

 

　　主要特點

 

　　1.同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角

 

　　2.設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

 

　　3.可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米

 

　　4.可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性

 

　　5.全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架

 

　　6.集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間

 

　　7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等，以及測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性等。

 

　　8、激光干涉儀的光源——激光，具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。

 

　　9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。