激光干涉儀精度誤差補償系統的應用

 

　　激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

 

　　激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。

 

　　激光干涉儀精度誤差補償系統的應用

 

　　1.硬件平臺

 

　　本試驗平臺選用科德數控股份有限公司自主研制的五軸高檔數控機床KMC800，使用激光干涉儀對其進行誤差數據采集和直線軸精度測試。平臺設計如圖1所示，試驗中所選用的數控系統為科德數控股份有限公司自主研發的高檔五軸數控系統GNC61，激光干涉儀為雷尼紹公司的產品。

 

　　2.精度補償的前提條件

 

　　在進行精度補償時，機械精度誤差往往會摻雜進來，所以在對機床進行定位精度檢測前，需要調整完畢機床各軸的平行度和垂直度等幾何精度，以盡量減少幾何精度對定位精度的影響。

 

　　3.試驗數據

 

　　精度補償前的試驗數據如圖6所示，補償后的試驗數據如圖7所示。表中列出了補償前后的實際數據對比。