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光電輪廓儀 我有新說法
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光電輪廓儀是在干涉顯微鏡的基礎上,應用數字圖像處理技術,光、機、電算相結合的新型儀器。

1介紹

光電輪廓儀是在干涉顯微鏡的基礎上,應用數字圖像處理技術,光、機、電算相結合的新型儀器。該儀器除在計量系統作為基礎儀器外,在材料科學、生物學、化學、微機械學以及半導體工業等領域中的納米分析測量也有廣泛的應用前景。
光電輪廓儀由光學干涉顯微鏡、相移裝置、C-MOS接收器、控制箱和計算機等部分組成,其系統框圖如下。
工件放到干涉顯微鏡工作臺面上,調整好干涉條紋后,計算機操縱控制箱驅動移相器,對干涉條紋進行掃描,由C-MOS接收并傳給計算機,經專用軟件計算、分析處理后,在計算機屏幕上顯示出工件表面三維立體圖、截面圖和測量的數值結果,也可以打印或保存在計算機內。

2應用范圍

光電輪廓儀的應用范圍很廣,它主要用于測量各種精密加工零件表面的微觀三維結構,如表面粗糙度;零件表面的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學零件表面的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表面結構測量;硅片表面粗糙度及其上圖形結構測量等等。由于儀器測量精度高,重復性好,具有非接觸和三維測量等特點,并采用計算機控制和快速分析、計算測量結果,本儀器適用于各級測試、計量研究單位,工礦企業計量室,精密加工車間和高等院校及科學研究單位等。

參考資料

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