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詳細介紹
沙迪克牌EXC100L可實現工作臺最小驅動10納米。
通過采用本社制造的陶瓷制空氣滑塊和直線電機，世界搭載了*非接觸XY直交工作臺。并通過搭配使用高分解能光柵尺，實現工作臺最小驅動單位10納米。
沙迪克牌EXC100L標準搭載高性能加工液冷卻裝置
通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置，維持穩定的超精密加工。
沙迪克牌EXC100L主要構造采用陶瓷
由于采用直線電機驅動方式，無需使用滾珠絲杠，避免了傳送機構部件產生扭曲或磨損。此外，通過在主要構造材料中采用陶瓷材質，保證了長期穩定的高精度。
沙迪克牌EXC100L產品參數
| 各軸行程 X×Y×Z(mm) | 100 × 120 × 100 |
|---|---|
| U×V軸行程(mm) | 20 × 20 |
| 錐度加工控制角度 | ±6°(板厚：60mm) |
| 工件尺寸 寬×長×高(mm) | 150 × 150 × 60 |
| 工件質量(kg) | 10（包括夾具等） |
| 機床主體尺寸 寬×長×高(mm) | 2280 × 1830 × 1990 |
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